1.機(jī)械方面
(1)電機(jī)兩端和絲杠軸承座上的軸承磨損后間隙過大，或者軸承缺少潤滑脂后軸承滾動體和保持架磨損嚴(yán)重造成負(fù)載過重。軸承磨損后間隙過大會造成電機(jī)轉(zhuǎn)子中心和絲杠中心存在同軸度誤差，使機(jī)械系統(tǒng)產(chǎn)生抖動。軸承滾動體和保持架磨損嚴(yán)重會造成摩擦力增加導(dǎo)致“堵轉(zhuǎn)”，堵轉(zhuǎn)“在不至于導(dǎo)致“過載報警”的情況下，由于負(fù)載過重，會增加伺服系統(tǒng)的響應(yīng)時間產(chǎn)生振動:
(2)電機(jī)轉(zhuǎn)子不平衡，電機(jī)轉(zhuǎn)子的動平衡制造時有缺陷或使用后變差，就會產(chǎn)生形如”振動電機(jī)”一樣的振動源;
(3)轉(zhuǎn)軸彎曲，轉(zhuǎn)軸彎曲的情況類似于轉(zhuǎn)子不平衡，除了會產(chǎn)生振動源也會產(chǎn)生電機(jī)轉(zhuǎn)子中心和絲杠中心的同軸度誤差，使機(jī)械傳動系統(tǒng)產(chǎn)生抖動;
(4)聯(lián)軸器制造缺陷或使用后磨損會造成聯(lián)軸器兩部分的同軸度誤差， 特別是使用鑄造的剛性聯(lián)軸器，由于本身的制造精度差，更容易產(chǎn)生同軸度誤差導(dǎo)致振動;
(5) 導(dǎo)軌的平行度在制造時較差會導(dǎo)致伺服系統(tǒng)無法到達(dá)指定位置到無法停留在指定位置，這時間服電機(jī)會不停的在努力尋找位置和系統(tǒng)反饋問徘徊，使電機(jī)連續(xù)的振動;
(6)絲杠與導(dǎo)軌平面的平行度誤差，絲杠在安裝過程中與導(dǎo)軌所在平面有平行度誤差也會使電機(jī)由于負(fù)載不均勻產(chǎn)生振動;
(7) 絲杠彎曲，絲杠彎曲后絲杠除了受到軸向推力外還會受到變化的徑向力，彎曲大時徑向力大，彎曲小時徑向力小，同樣這種不應(yīng)該存在的徑向力也會使機(jī)械傳動系統(tǒng)產(chǎn)生振動。3
2.電氣方面
導(dǎo)致交流伺服電機(jī)電氣方面的原因主要是伺服驅(qū)動器的參數(shù)調(diào)整上 。
(1)負(fù)載慣量，負(fù)載慣量的設(shè)置一 般與負(fù)載的大小有關(guān)， 過大的負(fù)載慣量參數(shù)會使系統(tǒng)產(chǎn)生振動，一般的交流伺服電機(jī)可以自動測量系統(tǒng)的負(fù)載慣量;
(2) 速度比例增益，設(shè)置值越大，增益越高，系統(tǒng)剛度越大，參數(shù)值根據(jù)具體的伺服驅(qū)動器型號和負(fù)載情況確定，一般情況下，負(fù)載慣量越大，設(shè)定值越大，在系統(tǒng)不產(chǎn)生振動的情況下，設(shè)定值盡量較大，但是增益越大，偏差越小，越容易產(chǎn)生振動;
(3)速度積分常數(shù)，一般情況下負(fù)載慣量越大，設(shè)定值越大，系統(tǒng)不產(chǎn)生振動的情況下，設(shè)定值盡量較小，但是降低積分增益會使機(jī)床響應(yīng)遲緩，剛性變差;
(4)位置比例增益，設(shè)置值越大，增益越高，剛度越大，相同頻率指令脈沖條件下，位置滯后量越小，數(shù)值太大可能會引|起電機(jī)振動;
(5) 加速度反饋增益，電機(jī)不轉(zhuǎn)時，很小的偏移會被速度環(huán)的比例增益放大，速度反饋產(chǎn)生相應(yīng)的轉(zhuǎn)矩，使電機(jī)來回抖動。
